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1.
硅基MEMS制造技术
出版社: 电子工业出版社   出版日期: 2022
文献类型: 图书 , 索书号: TH-39/86
2.
出版社: 辽宁科学技术出版社   出版日期: 1988.9
文献类型: 图书 , 索书号: S316